离子氮化炉的渗氮温度和气体渗氮基本相同，一般为500~540℃，不同材料渗氮硬度与温度之间均有一******对应值，一般在450~540℃之间。当温度高于590℃时，会因氮化物的积聚而使硬度明显下降。

　　升温速度主要取决于工件表面的电流密度、工件体积与产生辉光的表面积之比以及工件的复杂程度与散热条件等。为减少变形，升温速度不宜过快，一般为150~250℃/h。保温温度要稳定，波动要小。保温温度的稳定性与炉压及电压有密切的关系，通过稳定炉压来稳定电流密度，进而提高保温温度的稳定性；通过稳定电压来稳定电流密度，进而提高保温温度的稳定性。

　　渗氮的保温时间取决于渗氮件的材料以及渗氮层的厚度和硬度要求，保温时间从几十分钟到几十小时。当渗氮时间在20h以内时，离子渗氮的速度明显大于气体渗氮，当渗氮时间在20h以上时，两种渗氮的速度接近。可见，在处理渗氮层小于0.5mm的工件时，用离子渗氮是最合适的。当渗氮层深度为0.2~0.5mm时，一般保温8～20h即可。

　　炉气压力是离子渗氮的一个重要参数。空炉或工件装炉后，气压应能达到6.67Pa以下。如果达不到此值，说明炉体有漏气现象，漏入的空气中的氧在渗氮过程中会使金属表面氧化，影响渗氮质量；冷却时漏入空气，会使工件出现氧化色。