下面我们来了解一下离子氮化炉的泄漏检测步骤吧。

一、将炉体与供气系统分开，以区分泄漏是由炉体引起的还是由供气系统引起的。将进气管与钟罩分开并密封进气接头（使用我提供的专用塞子或真空泥）。启动真空泵抽真空，抽到较高真空（如30Pa左右或更高）后，关闭蝶阀，暂停一段时间（15-30分钟），观察设备漏气情况。

二、上一步工作后，如果炉体漏气，密封件（包括观察窗、充气装置、钟罩下密封法兰面、底盘大密封圈、测压件密封件、阴极件密封件） 、排气管道之间的蝶阀和连接法兰面）应一一检查，直至炉体基本无漏气。

注意：在实施以下检验步骤时，应遵循“分段”检验法的原则，即一次一个步骤。每个检测步骤完成后，使用真空来观察检测效果。如果漏气问题解决了，将不再进行其他检查。否则，依次检查（检查步骤可能会混乱）。

三、如果炉体不漏气，说明炉体各密封部位完好。然后慢慢打开蝶阀，可能出现以下两种情况。

1、蝶阀开启瞬间真空度略有下降，但之后不再继续下降（即压力上升速度在设备规定范围内或工艺允许范围内），说明不锈钢制吸入软管、电磁阀及其连接件完好。

2、如果蝶阀开启后真空度持续下降，则说明电磁真空带充气阀的连接密封部位、不锈钢波纹软管或软管端部可能存在漏气现象。

四、完成前三步后，解决炉体漏水问题或确认漏水不是炉体引起的，将头一步与炉体分离的进水管连接到炉体罩盖上。再次将炉体（确保接头处密封完好）。首先关闭流量计，然后启动真空泵对炉体进行抽真空。此步骤的目的是检查供气系统的泄漏情况。如发现设备有漏气现象，可检查进气接头、气管及各类气流合流三通连接处的密封情况，直至排除漏气问题。

通常，完成上述离子氮化炉的泄漏检测之后，炉体漏气问题就可以得到很好地解决了。