离子渗氮炉的离子渗氮的工艺参数较多，除了常见的渗氮温度和时间外，还与炉气压力、气源、气体压力及流量、电压与电流、抽气速率等因素有关。离子渗氮的渗氮温度和气体渗氮基本相同，一般为500~540℃，不同材料渗氮硬度与温度之间均有对应值，一般在450~540℃之间。当温度高于590℃时，会因氮化物的积聚而使硬度明显下降。

　　升温速度主要取决于工件表面的电流密度、工件体积与产生辉光的表面积之比以及工件的复杂程度与散热条件等。为减少变形，升温速度不宜过快，一般为150~250℃/h。保温温度要稳定，波动要小。保温温度的稳定性与炉压及电压有密切的关系，通过稳定炉压来稳定电流密度，进而提高保温温度的稳定性；通过稳定电压来稳定电流密度，进而提高保温温度的稳定性。

　　渗氮的保温时间取决于渗氮件的材料以及渗氮层的厚度和硬度要求，保温时间从几十分钟到几十小时。当渗氮时间在20h以内时，离子渗氮的速度明显大于气体渗氮，当渗氮时间在20h以上时，两种渗氮的速度接近。