工业当中使用对应的辉光离子氮化炉是十分常见的，但是我们在制作的时候还会因为各种不同的情况也会有一定的调整。但是对于辉光离子氮化炉的了解相对较少，所以我们在选择的时候就需要从各种不同的部分来进了解。下面小编就来为大家介绍一下辉光离子氮化炉的原理是什么。

　　辉光离子氮化炉，以工件为阴，炉体为阳，当炉内真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨气，使真空室内压力约为66.65~1333.2Pa。在两者之间加电压为400~750V，电流密度为0.5~2.0mA/cm2的直流电，在高压电场作用下，产生辉光放电，氨气发生部分分解形成氮和氢的正离子和电子。具有高能量的氮离子轰击工件表面，由动能转化为热能加热工件，同时氮离子吸取电子还原成原子被工件表面吸收并向内层扩散。离子轰击工件表面还产生阴溅射，溅射出铁离子与氮离子化合形成氮化铁FeN，FeN重新附着在工件表面，然后分解为Fe2N和Fe3N并放出氮原子向工件内扩散。

　　同时辉光离子氮化炉还利用了对应的辉光放电来进行处理的，在使用的时候还会因为电阻的不同而出现变化。对应的辉光离子氮化炉在选择的时候也需要从各种不同的方面来进行了解和处理。