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立即咨询发布时间:2019-09-27 14:41:04 来源:http://www.rclwh.com/ 作者:武汉八一零离子氮化炉研究所 浏览次数:1517次
在生活中,许多人可能对辉光离子氮化炉了解不多。像武汉地区您可以找到更多有关它的信息。
辉光离子氮化炉,其中工件为阴极,该炉为阳极。当将炉中的真空抽至(10.1Pa)时,会引入氨气,因此真空室内的压力约为66.651333.2Pa。在两极之间施加400至750V的DC电压和0.5至2.0 mA/cm 2的电流密度。在高压电场的作用下,产生辉光放电,氨气被部分分解以形成正离子以及氮和氢的电子。具有高能的氮离子轰击工件的表面,该动能通过工件将其转换为热能。同时,氮离子吸收电子并将其还原为原子,并被工件表面吸收并扩散到内层。工件表面的离子轰击也会产生阴极溅射。溅射的铁离子与氮离子结合形成氮化铁FeN。FeN重新附着在工件的表面,然后分解为Fe2N和Fe3N,并向工件释放氮原子。
使用辉光放电原理执行辉光离子氮化。辉光放电是指气体穿过电晕放电区域时,如果减小外部电路电阻或增加全电路电压,则放电功率将继续增加,放电电流将继续增加。同时辉光逐渐扩展到两个电极之间的整个放电空间,并且光越来越亮。当电子能量f增加时,即增强电场的工作参数增加时,电晕放电可转换为辉光放电。
上一条:离子氮化炉加工的过程