离子氮化中，工作层的温度直接影响氮化物层的质量和氮化循环。另外由于高电压，辉光和大气的因素，难以测量温度。目前辉光离子氮化炉的温度测量方法如下。

　　（1）视觉测量

　　关闭高压并通过观察窗观察工件颜色，检查暗炉盖的温度。

　　（2）热电偶温度测量

　　该方法通常使用带护套的热电偶来产生靠近工件放置的特殊温度探头，并通过显示仪表测量和控制氮化温度。

　　为了避免热电偶的负高压，在热电偶的头部和工件之间通常存在绝缘体，例如云母或石英管，但是这在长时间的操作之后发生，由于阴极溅射效应，绝缘体的表面由金属粉末制成。它被污染并成为指挥。热电偶仍然被氮化为负高压，增加了显示误差。

　　（3）光电高温计或光致变色高温计

　　两个温度计都是观察密闭容器中玻璃窗的相对先进的方式，以实现从氮化炉外部连续快速的非接触温度测量和温度控制。当用光电高温计测量温度时，考虑工件表面状况对表面温度，窗口污染，炉内电离气体，辉光放电和阴极溅射的影响。